1

劃定範圍及面積

以道路、水域或其他地理邊界、或相鄰不同使用分區為邊界劃定一定完整範圍土地，其土地面積規模應達二公頃以上

2

集聚密度

面積規模達五公頃以上者，劃定範圍內工廠使用之廠地面積占劃定範圍面積達百分之二十以上；面積規模未達五公頃者，劃定範圍內工廠使用之廠地面積至少需達一公頃以上

3

區位

劃定範圍不得位於經相關主管機關依法令劃定禁止或限制開發之地區，且如有位屬特定農業區之農業用地者，區內廠地辦理用地變更前需完成分區變更為一般農業區

4

產業類型

配合中央政府政策或相關產業發展需求，具有優先輔導合法之必要

5

土地使用意願調查

經劃定範圍內之土地所有權人過半數及其所有權面積合計過半數之同意。但所有權面積合計逾三分之二者，其人數不受前開過半數之限制；如由直轄市、縣(市)政府提案建議劃定特定地區者，不受前開規定限制